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[00056222]一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法

交易价格: 面议

所属行业: 其他采矿冶金

类型: 发明专利

技术成熟度: 通过小试

专利所属地:中国

专利号:ZL201410736742.0

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人:

进入空间

所在地: 山东青岛

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

本发明公开了一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法, 该装置包括照明点光源、扩束准直系统与 CCD 探测器,扩束准 直系统位于照明点光源与偏光棱镜之间,照明点光源发出的自 然光经扩束准直系统扩束准直后垂直入射到偏光棱镜,所述 CCD 探测器位于偏光棱镜反射光的出射方向,CCD 探测器与计 算机相连。该方法通过上述 CCD 探测器和计算机采集获得反射 光干涉条纹光强的分布图样,根据干涉条纹光强的分布图样得 出条纹间距,并计算得出胶合误差。本发明能够实现棱镜 胶合误差的准确测量。

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