[00056907]一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其内容是采用机械研磨电镀铜装置，电源，基材，珠子以及阳极板进行机械研磨酸性镀铜。采用机械研磨酸性镀铜装置通过改变不同直径珠子或者振动频率，使得珠子在试样表面主要以滚动方式运动从而研究机械研磨对酸性电镀铜的影响。本发明的技术效果：此方法简单且易实施，可获得晶粒细化的铜层，使铜层具有优异的耐蚀性以及结合力。
摘要：本发明公开了一种机械滚动研磨酸性电镀铜的方法，其内容是采用机械研磨电镀铜装置，电源，基材，珠子以及阳极板进行机械研磨酸性镀铜。采用机械研磨酸性镀铜装置通过改变不同直径珠子或者振动频率，使得珠子在试样表面主要以滚动方式运动从而研究机械研磨对酸性电镀铜的影响。本发明的技术效果：此方法简单且易实施，可获得晶粒细化的铜层，使铜层具有优异的耐蚀性以及结合力。
