[00056980]一种电容式边缘传感器
技术详细介绍
本实用新型公开了一种电容式边缘传感器，包括激励源、电荷放大电路和信号调理电路，所述传感器还包括一组正对面积相等的待测平板电容A和待测平板电容B、信号转换电路和相位比较电路，所述待测平板电容A和待测平板电容B的一端接入激励源，另一端接入对称的电荷放大电路中，所述电荷放大电路与微弱信号检测电路连接，所述微弱信号检测电路信号调理电路连接，所述信号调理电路与信号转换电路连接，所述信号转换电路与相位比较电路连接，所述待测平板电容A和待测平板电容B分别是由设在相邻子镜边缘下侧的第一金属膜和固定在一压电陶瓷片上表面的第二金属膜组成。本实用新型中的电容式边缘传感器具有体积小、精度高、成本低的优点。
