[00057461]氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元及制造方法
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摘要：一种用于氮离子太赫兹特征谱线探测的滤波器谐振单元，由半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底和衬底上的金属层构成，半绝缘砷化镓(SI‑GaAs)衬底的厚度为0.63mm，金属层由依次形成在衬底上的5nm厚的钛金属层和120nm厚的金金属层构成，在金属层中形成有镂空的十字架谐振结构阵列。还提供上述滤波器谐振单元的制造方法。通过本发明加工工艺制造的谐振单元，能够实现1.46THz为中心频率的单频率THz带通滤波器。
