[00057474]一种太赫兹波段的慢光器件及其制作
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技术详细介绍
摘要：本发明一种太赫兹波段的慢光器件，具体指一种在聚酰亚胺衬底上，加工一组特定几何结构的周期性电磁谐振单元阵列，实现该波段上电磁脉冲的群速度延迟的无源器件，涉及太赫兹的慢光器件技术领域。本发明利用类表面等离子体干涉相消导致太赫兹波段的巨大色散,从而实现该波段上电磁脉冲的群速度延迟的工作原理，通过将一个120度弧形谐振器和一个48个齿轮的内凹齿轮谐振器相组合，在0.23太赫兹波段，实现38.89皮秒的群速度延迟。本发明利用现有微加工工艺，制备工艺简单、操作方便，可以精确控制谐振器微结构的加工区域，大大降低了制作成本。在未来的巨大应用前景的THz通讯技术无源器件的发展和应用提供了坚实的技术物质基础。
