[00057552]一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种高精密大行程三轴快速刀具伺服装置，属于超精密加工和光学零件加工等技术领域，适用于具有较大“非回转对称性”的自由曲面金刚石车削创成等。本发明由两个音圈电机分别驱动一个柔性铰链机构，使金刚石刀具在X向和Z向分别作快速往复运动，通过一个压电叠堆执行器驱动一个微调机构以消除在Y向的附加运动；利用两个直线光栅分别检测金刚石刀具在X向和Z向的位移，一个电容传感器检测在Y向的附加位移。本发明具有在X向和Z向上可同时实现高精密大行程快速往复运动的优点。
