[00057555]一种参数可变式激光加工装置
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种参数可变式激光加工装置，属于激光加工和精密运动平台领域。由三维试件运动系统和二维挡片运动系统构成，二维挡片运动系统安装在三维试件运动系统上，三维试件运动系统的三个压电叠堆可驱动试件实现XYZ三向运动，二维挡片运动系统由微型步进电机驱动，可实现两个挡片的XY两向运动以改变激光加工焦点的位置，两个挡片在一个微型步进电机的带动下可相对运动，从而改变开口的大小以调节激光加工焦点大小，其中，大焦点可实现快速大范围低精度加工，而小焦点可实现慢速局部高精度加工，优点是运动精度高、响应频率高、可调节激光加工焦点大小及位置、试件运动系统实现了三向运动解耦等优点。
