[00057569]一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种大行程柱坐标双光子聚合加工方法及装置，属于微纳制造技术领域。将试件以共轴或离轴方式安装在一个C轴转台上，C轴转台绕z轴作回转运动，使飞秒激光束相对于试件作周向运动，C轴安装在x轴溜板上沿x向作直线进给运动，使飞秒激光束相对于试件作径向运动，通过二维振镜绕x和y轴的摆动，使飞秒激光束沿C轴转台之径向作快速往复摆动，通过z轴溜板沿z向的平动，获得飞秒激光束聚焦中心沿z向的进给运动，当试件以离轴方式安装，可实时改变C轴转台的转速，以使飞秒激光束在每个预期的扫描位置获得大小相同的速度。本发明所述方法及装置避免了运动轴回退、可快速精密跟踪有扰动的路径，实现大面积三维微纳结构的快速加工。
