[00057691]一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。
