摘要:一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag/TiAlN纳米多层涂层,它是由(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成,其中(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)2-Ag复合涂层厚度范围为5-8nm,其成分含量分别为Ti:15-20at%,Al:15-20at%,Si:5-10at%,Mo:5-10at%,Ag10-15at%,N:28-36at%,S:5-10at%;其中TiAlN涂层厚度范围为15-20nm,其成分含量分别为Ti:20-30at%,Al:20-30at%,N:48-50at%;本发明在室温-800oC温度范围内能够始终保持较低的摩擦系数和优良的抗磨损性能,可广泛应用于刃具等机械加工行业,对推动绿色加工行业的发展并节能降耗,具有重要的实际意义。