[00058340]一种均匀容性平板电极放电装置
技术详细介绍
摘要：本实用新型公开了一种均匀容性平板电极放电装置，包括充气单元、主电源单元、放电单元、预电离单元和真空单元；所述充气单元与所述真空单元连接，提供放电气体；所述放电单元设置在所述真空单元内，产生气体放电的区域；所述预电离单元与所述放电单元连接，为气体放电提供初始电子；所述主电源单元与所述放电单元连接，为维持放电提供功率；所述真空单元用于去除其它气体杂质对放电的影响。本实用新型通过在放电空间两侧布置阵列式针电极的方式，在放电空间上均匀预放电，然后在平板电极上施加放电功率实现高气压下的气体稳定放电，这种放电方式可以有效降低气体击穿电压，放电也更均匀，可用于材料表面改性、高功率气体激光器等领域。
