[00058541]双电池电流型氮氧化物传感器芯片及制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种双电池电流型氮氧化物传感器芯片及制备方法。其技术方案是：包括流延和切割制备形成对应于每一层的流延基片；所述氮氧化物传感器芯片的结构仅由三层基片组成，对各层流延基片进行对应的丝网印刷，形成对等的活性和非活性电极与共同对电极组成电流型双电池，同时也形成加热电阻和相应功能层；将各层流延基片叠合后，形成芯片坯材，切割坯材形成单个芯片生坯；烧结单个芯片生坯，制得双电池电流型氮氧化物传感器，烧结中对应功能层排胶后形成空腔，与相关结构构成空气通道。本发明制备的氮氧化物传感器芯片与现有技术相比，具有制作简单和成本低的特点，所制备的氮氧化物传感器芯片测量准确且能同时测量氮氧化物含量和氧含量。
