[00058914]一种高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法
技术详细介绍
本发明涉及高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法，其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料，选用高纯Cu靶和Ru靶，固定Cu靶功率为80±10W，在(3-15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量，通过直流磁控共焦溅射方法获得。能得到高热稳定性的无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料并且仍然保持优良的电学性能，更好的保证了其实际应用。本发明操作简单，重复性好，实现效果良好。
