[00059129]基于MoS2纳米薄片的场效应电催化产氢器件的制备方法
联系人： 武汉理工大学
所在地： 湖北武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种基于MoS2纳米薄片的场效应电催化产氢器件的制备方法，包括有以下步骤将至少一层二硫化钼纳米薄片分散到带有氧化层的硅基板上，其中纳米薄片作为沟道材料，氧化层作为介电层，在沟道材料的两端制作金属源极和漏极；旋涂绝缘层，使之覆盖住金属源极和漏极；在金属源极和漏极之间刻蚀出凹槽；在硅基板空白一侧除去氧化层，制作背栅电极的接触点，在器件表面注入电解液获得场效应电催化产氢器件。本发明的有益效果是可代替铂类贵金属在催化制氢领域的应用，工艺简单，减少了生产成本，同时也为提高其他半导体材料的催化性能提供了指导策略，有益于未来相关方面的研究。
