[00059504]一种操纵微纳米粒子的柔性微驱动器的制造操控方法
技术详细介绍
一种操纵微纳米粒子的柔性微驱动器的制造操控方法，先制作磁性微纳米颗粒的图形化模板，再将聚合物涂覆在非磁性衬底表面，将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物，提拉图形化模板，使聚合物被拉伸为蘑菇状微纳米柱阵列，加热图形化模板使图形化的磁性微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层，得到顶端带有磁性微纳米颗粒的柔性的蘑菇状微纳米柱阵列，即柔性微驱动器，将需要被操纵微纳米粒子滴至柔性的蘑菇状微纳米柱阵列表面，调控非磁性衬底下面磁铁的位置与水平/竖直移动速率实现微纳米颗粒的平移、抓取、跳跃操纵，调控非磁性衬底上面的一对磁铁的位置以及旋转速率实现微纳米颗粒的旋转操纵，本发明柔性驱动器制作简单，可控性好。
