[00059524]一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法
技术详细介绍
本发明涉及SO2气体传感器领域，公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Al膜；其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术，工艺简单，实现方便。
本发明涉及SO2气体传感器领域，公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Al膜；其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术，工艺简单，实现方便。
