[00059530]柔性基板上金属薄膜疲劳寿命测试方法
技术详细介绍
本发明公开了一种柔性基板上金属薄膜疲劳寿命测试方法，包括对界面结合良好的金属薄膜/柔性基板体系进行整体循环应力加载下的疲劳测试，记录金属薄膜的应力－应变曲线和电阻变化－循环次数曲线，同时观察疲劳过程中不同循环次数下金属薄膜微观组织，得到金属薄膜表面损伤形貌－电阻变化－循环次数曲线。将电阻变化－循环次数曲线上电阻变化突然增大来表征金属薄膜损伤，定义疲劳寿命Nf。由应力－应变曲线得到的应变幅Δε及其所对应的疲劳寿命Nf构成了金属薄膜/柔性基板系统中金属薄膜疲劳性能失效评价。该方法测试简单，测量精确且具有先验性。
