本发明公开了电流载荷作用下金属薄膜拉伸临界应变值的测试表征方法,包括对界面结合良好的金属薄膜/柔性基板体系同时进行电流加载和微力拉伸,在这种力/电耦合加载过程中,记录金属薄膜的应力-应变曲线和电阻变化-应变曲线,同时通过微观分析连续观察金属薄膜微观组织变化,得到微裂纹百分数-应变曲线。电流载荷下金属薄膜/柔性基板系统中金属薄膜失效临界应变体系由三个临界应变构成,其中电阻变化-应变曲线上电阻变化从线性阶段向非线性阶段转变时刻的应变为临界裂纹萌生应变;微裂纹百分数-应变曲线中微裂纹百分数反推为零时的理论应变为临界裂纹扩展应变;电阻变化-应变曲线上电阻发生剧增时刻的应变为临界裂纹失稳应变。