[00059557]一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器
技术详细介绍
一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器，包括基底，加热器设置在基底的上表面中央，焊盘位于基底上表面加热器的旁边，和加热器连接，绝缘层薄膜覆盖在加热器、焊盘和基底之上，绝缘层薄膜上设置有腔壁，腔壁和绝缘层薄膜形成空腔结构中装有被测液体，加热器同时作为温度传感器；加热器为多折结构金属带，由两根以上的等宽度、等间隔的平行金属带串联而成，分为窄加热器和宽加热器，用已知热导率和热扩散系数的参考液体作为被测液体反向推导出基底热导率和热扩散系数，提高测量精度。
