[00059564]一种介质材料的二次电子能谱测量装置及测量方法
技术详细介绍
本发明提供一种介质材料的二次电子能谱测量装置及测量方法，测量装置包括置于高真空系统中的脉冲电子枪、筒状收集极、网状栅极、样品和金属样品托；筒状收集极上开设有圆孔，脉冲电子枪发出的入射电子束穿过筒状收集极上的圆孔和网状栅极垂直照射到样品上，网状栅极连接示波器；样品与下方的金属样品托紧密相贴并通过电阻R1接地，收集极的偏压设置为零，网状栅极经过开关Kg与外加电源连接，网状栅极加负偏压，测量过程中样品表面的电荷通过网状栅极加负偏压的方法被中和掉，流过网状栅极的电流Ig经过电阻Rg后用示波器测出；该装置结构简单，成本低，而且测量方法也简便，测量周期短，效率高。
