[00059709]一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法
技术详细介绍
一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置，由位于底部的Z方向偏转机构、以及安装在底部的X方向偏转机构、安装X方向偏转机构上的Y方向偏转机构和安装在偏转机构角度输出的偏转块上的载物台组成；Z方向偏转机构位于底部，由安装基板和两个带预紧的压电堆组成；Z方向偏转机构内的压电堆在大小和方向相同的电压下输出Z方向偏转；X方向偏转机构和Y方向偏转机构原理类似，包含偏转机构框架和一对压电堆，X方向偏转机构和Y方向偏转机构垂直安装，整体垂直于Z方向偏转机构平面；当某一偏转机构内的一对压电堆在差分电压作用下产生差分位移，并在柔性铰链的导向作用下使偏转块产生角位移输出；本发明由于三个轴独立驱动，无摩擦，可实现三自由度大范围、高精度调节。
