[00059782]一种基于多轴对称激光束的微探针尖端热成形系统
技术详细介绍
本发明公开了一种基于多轴对称激光束的微探针尖端热成形系统，涉及微探针尖端加工制造领域。该系统主要包括激光模块、多轴对称光路模块、在线监测模块、探针位置调整模块、信号分析处理模块和激光防护模块等；所述的激光模块发出的CO2激光经过多轴对称光路模块后，形成相对于Z方向对称的四束激光，从探针的四个对称方向对其尖端进行加热成形；所述的在线监测模块可将实时加工信息反馈给信号分析处理模块，并通过信号分析处理模块及时调整探针的加工方案。本系统采用的多轴对称激光束微探针尖端热成形方法，可使探针尖端均匀受热，保证热应力分布平衡，能够快速形成具有较高几何与形貌精度的探针尖端，提高了探针尖端加工成形的质量和效率。
