[00059896]工模具表面复合氮化物涂层制备工艺
技术详细介绍
本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，属于微纳米涂层技术领域，该工艺是在镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成TiN膜的同时，通过磁控溅射源植入Me元素，在工模具表面镀制(Ti，Me)N层；所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。
本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，属于微纳米涂层技术领域，该工艺是在镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成TiN膜的同时，通过磁控溅射源植入Me元素，在工模具表面镀制(Ti，Me)N层；所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。
