[00006710]单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
光学仪器
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201611181916.7
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
邱老师
进入空间
所在地:
江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。