[00006711]一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种单方向发射的电泵浦氮化镓微激光器及其制备方法。该方法首先利用在硅基p型氮化镓/量子阱/n型氮化镓材料，利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备由单根悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔，在晶片正面蒸镀上Au/Ni电极，在n型氮化镓表面蒸镀Au/Ti，采用超声波键合技术，在电极表面键合引线，最终制备完整的器件。对制备的器件施加合适的电流，获得单方向性发射的回音壁模紫外激光。
