[00006716]一种单方向发射的光泵浦氮化镓微激光器及其制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化镓微激光器及其制备方法，以硅基氮化物晶片为载体，包括硅衬底层、设置在硅衬底层上表面一侧边缘的氮化镓平台、与氮化镓平台连接的氮化镓悬臂梁、与氮化镓悬臂梁连接的非对称薄膜微腔结构，非对称薄膜微腔结构下方设置有贯穿硅衬底层的空腔，使得非对称薄膜微腔结构和氮化镓悬臂梁完全悬空。该方法首先利用在硅衬底上的氮化镓材料，利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔，在合适的光泵浦条件下，获得单方向发射的回音壁模紫外激光。
