本发明公开了一种基于智能材料驱动的振动移动机构及其制备方法,包括驱动器与支撑足;驱动器包括介电弹性体材料、上框架和下框架;介电弹性体材料夹持于上框架和下框架之间;上框架和下框架固定于若干支撑足上;上框架设置有上表面铜箔电极,下框架上设有下表面铜箔电极,上表面铜箔电极和下表面铜箔电极位于振动移动机构上相对的两侧;介电弹性体材料上表面涂覆有电连接上表面铜箔电极的上表面碳膏电极,介电弹性体材料下表面涂覆有电连接下表面铜箔电极的下表面碳膏电极。本发明采用介电弹性体智能材料为驱动核心,所设计的移动机构具有结构简单、重量轻、运动分辨力高的特点,在工业检测、微机电系统组装、光学工程等领域具有较大的应用潜力。