[00060015]Zr－Si－N硬质复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明涉及一种陶瓷材料技术领域的高硬度Zr－Si－N复合涂层及其制备方法。本发明在氩、氮混合气氛中采用高纯Zr靶和Si靶共焦溅射，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体表面沉积得到，Zr－Si－N层的厚度总厚度为2～3μm。这种硬质涂层能够获得37.8GPa的高硬度，抗氧化温度随Si含量而改变。本发明所得的Zr－Si－N复合涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高于17GPa的硬度和超过850℃的抗氧化温度。本发明作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
