[00060027]一种TaVN复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
本发明涉及一种TaVN复合涂层，其特征在于是在氮气与氩气的混合气体氛围下，以金属、硬质合金或陶瓷为基体，采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射，V元素的原子百分比为0～46.7at%且大于0，先在基片上沉积纯Ta层作为过渡层，然后再沉积1.5-2μm的TaVN复合膜。所得TaVN膜层硬度为30-34GPa，常温下的摩擦系数最低为0.56，高温下的摩擦系数最低为0.5。可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
本发明涉及一种TaVN复合涂层，其特征在于是在氮气与氩气的混合气体氛围下，以金属、硬质合金或陶瓷为基体，采用高纯Ta靶和高纯V靶共溅射，V元素的原子百分比为0～46.7at%且大于0，先在基片上沉积纯Ta层作为过渡层，然后再沉积1.5-2μm的TaVN复合膜。所得TaVN膜层硬度为30-34GPa，常温下的摩擦系数最低为0.56，高温下的摩擦系数最低为0.5。可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。
