[00060028]NbBN复合涂层及其制备方法
技术详细介绍
本文发明公开了一种NbBN复合涂层及其制备方法，是在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O。本发明进一步提高NbN涂层的力学性能、抗腐蚀性能和耐磨损性能，使其成为具有优异的综合性能的保护涂层，以便在高速、干式切削和防腐蚀等领域中有更广泛的应用。
本文发明公开了一种NbBN复合涂层及其制备方法，是在室温下采用双靶共焦射频反应磁控溅射法溅射在硬质合金或陶瓷基体上制备得到的，厚度为1.5‑2.5μm，B成分为0‑9.65at.％，Nb成分为49.43‑58.92at.％、N成分为39.8‑41.2at.％以及余量的O。本发明进一步提高NbN涂层的力学性能、抗腐蚀性能和耐磨损性能，使其成为具有优异的综合性能的保护涂层，以便在高速、干式切削和防腐蚀等领域中有更广泛的应用。
