[00060030]钛-钇-氮纳米硬质薄膜及制备方法
技术详细介绍
钛-钇-氮纳米硬质薄膜及制备方法，薄膜采用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上制备得到，所述薄膜硬度稳定，断裂韧性随Y含量的升高逐渐升高，抗氧化温度随Y含量的升高先升高后降低，当所述薄膜中的Y较大时，室温球-盘式摩擦实验下具有较低的平均摩擦系数及磨损率，且受加载力的影响不大。本发明所得的Ti-Y-N硬质纳米结构薄膜不但具有高的硬度、断裂韧性及抗氧化温度，而且具有较低的室温平均摩擦系数和磨损率，在高速、干式摩擦磨损条件下，可作为减摩耐磨纳米结构硬质涂层。
