本发明公开了一种基于峰位比对的扫描式劳厄衍射图谱分析方法,包括以下步骤:步骤一:运用公知的方法对实验所得所有扫描式劳厄衍射图谱进行寻峰操作,得到衍射峰的位置和积分强度;步骤二:判断扫描式劳厄衍射实验区域内两点是否为同一晶粒;步骤三:重检晶界;步骤四:从两种遍历方法中选择一种遍历方法,对实验区域内所有点进行遍历,完成对实验区域内所有点对应扫描式劳厄衍射图谱的峰的标定,并得到实验区域内的晶/相界分布;本发明方法与当前的其他对扫描式劳厄衍射扫描式劳厄衍射图谱的分析方法相比,具有计算量小,耗时短的特点。