[00060100]一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法，该方法利用激光聚焦烧蚀真空腔室内靶材料产生等离子体，通过光学镜头聚焦，光谱仪分光，像增强器呈像测量等离子体光谱。经过多次测量不同气压环境下等离子体光谱，分析找到等离子光谱和气压的关系。利用该关系，通过测量等离子体光谱即可获知真空腔室气压。
本发明公开了一种基于激光诱导光谱击穿技术检测真空装置真空度的系统及方法，该方法利用激光聚焦烧蚀真空腔室内靶材料产生等离子体，通过光学镜头聚焦，光谱仪分光，像增强器呈像测量等离子体光谱。经过多次测量不同气压环境下等离子体光谱，分析找到等离子光谱和气压的关系。利用该关系，通过测量等离子体光谱即可获知真空腔室气压。
