[00060110]一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法
技术详细介绍
本发明涉及了一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法，该方法采用层片状薄膜试样作为测试样品，采用应变速率可控的纳米压痕仪试验装置，采用纳米压入仪，压头为三棱锥金刚石压头,控制应变速率为0.2s‑1,压入深度为薄膜膜厚的80％或以上，测量在加载结束后压痕截面处膜基间界面裂纹的长度，即可计算出金属纳米多层膜材料的附着能。本方法可以简单、方便、快捷地评价纳米多层膜的附着能，为解决纳米多层膜薄膜附着能力的评估提供了有效途径。
