[00060124]一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法
技术详细介绍
一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法，包括首先对试样完成顶部保护；然后进行样品提取，提取时保证试样一侧完全与基体相连的情况下，刻蚀样品底面与另外一个侧面，使刻蚀后试样底面能够完全穿透，形成L形的悬臂梁式结构，同时避免试样与基体发生断裂；之后将原位纳米操纵杆与样品进行焊接，在确认样品与基体无粘连后，通过移动原位纳米操纵杆提取出样品，将提取出的样品转移至载样铜网，使原位纳米操纵杆与样品分离，焊接确保样品与铜网两个柱头固定牢靠；最后采用对称切割的方式对样品两面进行均匀减薄，得到透射样品。本发明能够有效地避免透射样品在制备过程中发生弯曲变形。
