[00060128]一种用于电子显微镜的原位定量加热装置
技术详细介绍
本发明公开了一种用于电子显微镜的原位定量加热装置，包括基体、加热台、齿针、加热测试电阻、若干导线、以及若干柔性连接件；基体表面设有凹槽，加热台位于所述凹槽内，柔性连接件的一端与加热台的侧面相连接，柔性连接件的另一端与所述凹槽的内壁相连接，加热台悬空的一端设有若干用于放置样品的齿针，加热测试电阻位于加热台上，加热测试电阻的引出端通过导线引出到基体的上表面后与外接电路相连接，导线位于柔性连接件与基体上。本发明能够方便的利用聚焦离子束从宏观材料制备透射电镜样品，并对样品进行原位定量加热，并且热漂移小。
