本发明公开了一种电子束能量密度分布定量测量数值处理方法,首先分析电子束,运用磁控偏转信号使电子束扫描带小孔钨板,使用钨板材料防高温烧损,扫描路径信号和频率由扫描信号发生器产生,通过外部共享晶振触发,经回路电阻转换成电压信号;然后,由于透过小孔的电信号较弱,通过运放电路进行放大和调理,放大信号经数据采集卡进行高频A/D转换、PCI总线传输和板载缓存后保存到上位机中,再对采集数据的进行滤波、区域分割后,利用OpenGL图形库对电子束行扫描数据进行平面重构形成截面能量密度分布;最后,为对电子束能量密度分布进一步度量,对整个截面能量进行积分获得总能量与能量密度值的映射关系,计算能量百分比区域。