[00061070]一种三维精密微位移定位平台
技术详细介绍
摘要：一种三维精密微位移定位平台。其特征在于包括基座、运动平台、桥式放大机构、驱动器；所述基座上设有安装通槽，所述安装通槽呈正三角形结构；所述运动平台呈正三角形结构，并设置在安装通槽中心位置；所述桥式放大机构设有3组，分别设置于运动平台与基座之间，呈120°均匀分布，所述桥式放大机构与运动平台、基座之间均通过第一柔性铰链相连接；所述驱动器设有3组，分别设置在各个桥式放大机构内，并驱动连接桥式放大机构。其优点在于采用以上方案，运动平台与基座之间通过桥式放大机构连接，能够放大驱动器的输出位移，增大运动平台的行程，能够达到更高精度的亚微米甚至纳米级定位要求。
