本发明一种硬脆材料小孔超精密加工方法
小孔超精密加工包括,步骤1,将电镀金刚石刀具同轴固定在高精度气体静压主轴上,将被加工工件固定在工件夹具上;工件夹具固定在高精度气体静压转台上,高精度气体静压转台安装在横向气体静压导轨副上;步骤2,通过高精度气体静压转台带动被加工工件低速旋转;步骤3,通过高精度气体静压主轴带动电镀金刚石刀具高速旋转,并向下移动下刀到被加工工件的毛坯孔中;步骤4,通过横向气体静压导轨副经高精度气体静压转台带动被加工工件横向移动进行扩孔;步骤5,扩孔达到小孔的设计要求后,保持电镀金刚石刀具与孔壁的接触,小孔超精密加工通过高精度气体静压主轴带动电镀金刚石刀具向上移动提刀,同时对孔壁进行修整,完成所述加工。