[00061119]一种压阻式集成化三维车削力传感器
技术详细介绍
一种压阻式集成化三维车削力传感器
车刀安装在传感器主体结构的头部车刀插槽内，传感器主体结构的中部上下面分别设有第一竖直八角半环和第二竖直八角半环，传感器主体结构的中部前后两个侧面分别连接第一水平八角半环和第二水平八角半环，传感器主体结构的尾部为传感器柄，八角半环外表面封装有MEMS硅微力敏芯片，采用两个互相垂直的八角环结构实现了三维车削力的独立测量，减小了各向力之间的相互影响和耦合，采用MEMS硅微力敏芯片，不仅芯片的测量精度和灵敏度大大提高，仅需要在一处封装MEMS硅微力敏芯片就可以实现对应力、应变的测量，本发明传感器实现三维车削力的精确测量，不仅可以测量动态力，也适用于测量静态力。
