[00061374]一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统
技术详细介绍
本发明公开了一种基于CO2激光双向加热方式的微探针尖端成形系统，涉及微探针尖端加工制造领域。该系统主要包括：激光发生模块、光路调节模块、探针位置调整模块和激光防护模块等；所述的激光发生模块发出的CO2激光，经光路调节模块调节后，可分成两束相同的激光束，并以一定的夹角从探针的两侧射向探针尖端，对探针尖端进行局部快速加热成形。本系统采用双光束对称加热方法，能够精确定位热源作用区域的大小和位置，精确控制热源功率与作用时间，提高热应力分布的均匀性与探针尖端形貌质量的一致性和几何形貌精度。
