[00061545]长蜂窝壳型电极三维探测器
联系人： 湘潭大学
所在地： 湖南湘潭市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种长蜂窝壳型电极三维探测器，在硅基体上部由上往下单面不贯穿刻蚀得到长蜂窝型沟槽电极，在硅基体下部由下往上单面不贯穿刻蚀得到七边形沟槽电极，长蜂窝型沟槽电极与七边形沟槽电极在Z轴有重合，长蜂窝型沟槽电极与七边形沟槽电极在X轴、Y轴所在平面内不重叠的部分与七边形沟槽电极的外表面围合形成第一死区；沟槽电极的中心包围有贯穿刻蚀的中心电极，中心电极上表面设有阳极金属接触层，沟槽电极上表面设有阴极金属接触层；多个长蜂窝壳型电极三维探测器单元以镜像方式排列或按照上下相互正交的方式排列成阵列。解决了现有技术中探测器电荷收集性能差，位置分辨率低，制作工艺难度大，信号读出路线多，成本高的问题。
