本发明属于光机电一体化的应用装置领域,具体涉及一种白光干涉三维形貌再现装置.
白光干涉三维形貌再现装置包括计算机、驱动装置、依次设置的CCD图像传感器、显微目镜、显微物镜、光学补偿板、分光板和工作台，驱动装置用于驱动工作台等距位移直线运动，光学补偿板和分光板的上表面均复合有半透半反膜，计算机的输出端连接至驱动装置的输入端，CCD图像传感器的输出端连接至计算机的输入端，计算机用于通过再现待测物体朝向分光板的表面的三维形貌。本发明的有益效果是：可预先人工调节显微目镜和显微物镜的位置可以实现从待测物体表面反射的光与光学补偿板上反射的光接近等光程，达到零光程差，实现白光干涉，调节方便；
白光干涉三维形貌再现装置操作简单，制作成本较低，经济价值可观。
