本发明公开了一种有机无机杂化氧化硅纳米球的制备方法,该方法包括:(1)使用乳化剂把烷氧基硅烷或它们的混合物乳化制得烷氧基硅烷单体乳液;(2)对烷氧基硅烷单体乳液进行催化水解、缩合,制得乳液;(3)对乳液进行沉淀、洗涤、干燥后即制得本发明的有机无机杂化氧化硅纳米球。本发明所提供有机无机杂化氧化硅纳米球的制备方法,操作简单、步骤少,很容易实现;反应所需的原料广泛,容易取得,价格便宜,因此成本低,产品得率高,在80%以上,利于工业化生产。所制备的有机无机杂化氧化硅纳米球具有粒径多分散性可控、耐热性好、特别是其表面富含有机官能团可以方便的进行后期修饰及易与其他材料复合。