[00062170]一种晶圆扫描检测定位方法
技术详细介绍
本发明属于光学技术领域，公开了一种晶圆扫描检测定位方法，所述晶圆固定在移动平台上，所述移动平台带动所述晶圆运动；所述移动平台开始运动的同时，定位部件处于工作状态；所述移动平台运动至稳定状态后，采样部件开始采集散射光信号；所述散射光信号开始采集的同时，所述采样部件向与所述定位部件连接的信号采集端口发送一个TTL信号；所述信号采集端口收到所述TTL信号后，所述定位部件按照预定的频率采集定位信息。本发明解决了现有技术中采样部件与定位部件由于内置时间差引起定位误差的问题。实现了采用部件与定位部件的同步，从而保证晶圆扫描检测精确定位。
