[00062171]一种多光源扫描检测方法
技术详细介绍
本发明属于扫描检测技术领域，公开了一种多光源扫描检测方法，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。本发明提高了扫描效率和稳定性，提高了定位精度。
本发明属于扫描检测技术领域，公开了一种多光源扫描检测方法，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。本发明提高了扫描效率和稳定性，提高了定位精度。
