[00062175]一种运动平台及光路安装调节的装置和方法
技术详细介绍
本发明属于光学技术领域，公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，其中，装置包括：基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜；方法为：固定基准器件；在基准器件的下方放置运动平台；通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动，结合样品台上的特征点在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节螺纹副推进调节件，实现对运动平台安装位置的调节；通过样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。
