[00062238]可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法
技术详细介绍
一种可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法，该装置由X方向平动机构、Y方向平动机构、Z方向偏转机构以及载物平台组成；X方向平动机构和Y方向平动机构原理类似，均对称布置菱形位移放大机构、杠杆位移放大机构和导向机构，X方向平动机构和Y方向平动机构通过基座凹槽垂直安装；当X方向平动机构的一对压电堆在大小相等方向相反的电压下，平台沿X方向平动；当Y方向平动机构的一对压电堆在大小相等方向相反的电压下，平台沿Y方向平动；Z方向偏转机构位于底部，由安装基板和两个带预压力的压电堆组成，当Z方向偏转机构内的压电堆在大小和方向相同的电压下输出Z方向偏转；本发明由于导向机构的存在，使得平台沿X方向的平动和沿Y方向的平动解耦；且整个装置无机械摩擦，可实现三自由度高精度独立调节。
