[00062242]一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种从单晶硅切割或磨削加工硅晶片产生的废砂浆中提取高纯硅粉和碳化硅粉的工艺方法，包括对废砂浆进行固液分离，通过有机溶剂去除废料中的悬浮剂和粘结剂，对固态砂料进行气体浮选，得到一定纯度的硅粉末，进一步对该硅粉末进行液体浮选和重力分选，再将分选出的硅粉进行酸洗，获得高纯度的硅粉。同时将重力分选得到的碳化硅－金属的混合粉末进行磁力分选，获得纯的碳化硅粉末。本发明方法可以有效地回收硅棒切割加工产生的废砂浆中的高纯硅，以及作为切割磨料的碳化硅微粉，回收效率高，是一种变废为宝，解决高纯度硅原料资源短缺问题的实用技术。
