[00062250]基于激光干涉原理的精密主轴回转精度检测装置及方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于激光干涉原理的精密主轴回转精度检测分析方法，精密主轴回转精度检测光路包括用于安装所需仪器的箱体，安装于箱体中的激光发射器、4个光学凸透镜、半透半反镜、基准球以及CCD相机，部分激光光束将由方箱上的圆孔射出打在靶球上，所述靶球通过延伸杆安装在精密主轴上。所述分析原理对CCD相机采集到的激光干涉图样进行分析，获得精密主轴的转速以及三向位移误差。本发明方便用于工程检测，无需误差分离，能够同时检测精密主轴的转速、轴向和径向位移误差，并且测量精度达到纳米量级。
